半岛bandao体育金融界2024年6月28日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“半导体零部件的清洗方法“，公开号CN3.2，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种对半导体零部件的清洗方法，所述半导体零部件具有相对的第一表面和第二表面，所述半导体零部件还开有多个连通第一表面和第二表面的通孔，所述清洗方法包括步骤：提供化学流体抛光液，所述化学流体抛光液中包含化学腐蚀剂和抛光磨料；使化学流体抛光液穿过所述通孔并从第二表面向第一表面流动，所述化学流体抛光液在流经所述通孔的过程中，对通孔内侧壁进行清洗处理。所述清洗方法能够去除所述通孔内的污染物，且不易对通孔内侧壁造成损伤。
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
惊爆! 新冠感染潮又来！大批人病倒，高烧狂咳，有人直接失忆!
大V日本逛超市感叹：日本确实发达，普通人月薪9000人民币，物价却和中国没区别
上海跟佛祖借了100亿元？纯属谣言！发文平台：非常明显的人为伪造、拼接信息，网信部门：将移交公安处置
与中坚力量共成长，2024建信信托艺术大奖评委会特别奖获奖艺术家凌海鹏
事发上海虹桥站！知名博主爆料：短途被出租车拒载，直接锁车门加速走了？官方回应：处置
